Содержание

Введение

1 Электронно-микроскопический метод исследования

2 Физические основы растровой электронной микроскопии

2.1 Разновидности растрового электронного микроскопа        

3 Схема растрового электронного микроскопа, назначение его узлов и их функционирование

4 Подготовка объектов для исследований и особые требования к ним

5 Технические возможности растрового электронного микроскопа

6 Современные виды РЭМ

Заключение

Список литературы

Введение

Быстрое развитие методов исследования и анализа, основанных на использовании электронно-зондового и различных сигналов, излучаемых веществом при взаимодействии с электронами зонда, привело к тому, что техника, которая еще совсем недавно была привилегией отдельных лабораторий, стала общедоступной.

Такое расширение работы в этом направлении было частично обусловлено достижениями в растровой электронной микроскопии и созданием различных приставок для химического рентгеновского анализа с помощью твердотелых детекторов с энергетической дисперсией. В настоящее время многие исследователи располагают мощными техническими средствами, но не имеют соответствующей подготовки для работы с ними. Поскольку эти методы исследования и анализа, применение которых значительно облегчилось благодаря техническому прогрессу и взаимопониманию, достигнутому между конструкторами, основаны на использовании физических процессов, то законы их должны быть познаны, чтобы получать полезные и важные результаты.

Если технический прогресс позволил быстро создать необходимое оборудование, то возникла естественная необходимость найти правильный подход к подробной характеристике материалов, основываясь на новых возможностях метода. Становится все более очевидным, что для характеристики материала недостаточно только химического и гранулометрического анализа. Характеристика требует качественного и количественного описания некоторого числа свойств, особенно на микроуровне (или точнее на нескольких микроуровнях), в соответствии, разумеется, с макроскопическими характеристиками, такими как химический состав и предыстория (термическая или механическая) образца независимо от природы материала (металла, керамики, минерала или полупроводника).

1 Электронно-микроскопический метод исследования

Электронно-микроскопический метод исследования получил широкое распространение в различных областях науки и техники. Электронный микроскоп благодаря высокой разрешающей способности (более чем на два порядка выше по сравнению со световым микроскопом) позволяет наблюдать тонкие особенности и детали структуры микрообъектов на атомно-молекулярном уровне. Эти приборы по своему назначению разделяются на просвечивающие (ПЭМ) и растровые (РЭМ) электронные микроскопы. Первые позволяют изучать образцы в проходящих, а вторые – во вторичных или рассеянных объектом электронах.

Применение просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) в минералогии началось со времени получения теневых изображений тонкодисперсных частиц глинистых минералов. Начиная с 50-х годов стали появляться работы, посвященные принципам действия, конструкции и техническим возможностям электронных микроскопов [2]. ............