Принципы измерения расстояний и линейных перемещений
    С О Д Е Р Ж А Н И Е
    Принципы измерения расстояний и линейных перемещений....................3 2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров
    со счетом полос..............................................................................................5 2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов........5 2.2 Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции............7 3 Исследование погрешности измерения перемещений................................10 3.1 Анализ основных состовляющих погрешности измерения перемещений 3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха...................11 3.3 Определение погрешности измерения расстояния......................................12 3.4 Определение положения ближней и дальней зоны.....................................14 ПРИЛОЖЕНИЯ......................................................................................................15 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ....................................................................................25 1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений
    Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена на рис. 1а.
    Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1 будем считать идеальной плоской волной.
    Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отра- жателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фо- топриемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б)
    I=I0+I~* COS (??L??), (1) где I0 и I~ - постоянная составляющая и амплитуда переменной сос- тавляющей сигнала соответственно; 2L - геометрическая разность хода интерферирующих пучков; ? - длина волны излучения.
    Расстояние от нуля интерферометра О до измерительного отра- жателя 4:
    (2) где P - порядок интерференции, ? - фаза интерференционного сигна- ла I, определяемого формулой (1). 2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со
    счетом полос.
    Метод счета полос заключается в измерении (счете) числа пе- риодов изменения интерференционного сигнала при изменении ГРХ. Для предотвращения ложного счета вследствие механических вибраций и турбулентности воздуха осуществляют реверсивный счет, при кото- ром определяют знак каждого счетного периода приращения порядка интерференции.
    Применяют два способа реверсивного счета полос. 2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов
    Квадратурными называют два сигнала, содержащие информацию об одной и той же ГРХ, но сдвинутые по фазе на ?/2:
    I1(t)=I10+I1~*COS[?(t)] ,
    (3)
    I2(t)=I20+I2~*SIN[?(t)] . Фиксируя пересечения сигналами (3) среднего уровня (рис. 2б), измеряют приращения ГРХ c дискретой ?/4. Знак каждой дискреты оп- ределяют по фазовому сдвигу между сигналами, который в зависимости от направления изменения ГРХ равен ?/2 или 3?? /2.
    На рис. 2а изображена схема ЛИС, где квадратурные сигналы получают оптическим способом. Плоскость поляризации излучения од- ночастотного лазера 1 составляет угол 450 с плоскостью чертежа. Фазовая пластина ?/8 - позиция 3, одна из собственных осей кото- рой лежит в плоскости чертежа, вносит в интерферометр, образован- ный светоделительной призмой-куб 2 и отражателями 4, разность ГРХ, равную ? /4, для составляющих излучения лазера параллельной и перпендикулярной плоскости чертежа. ............