Начало -> Химия -> Жидкостное химическое травление
Название:
Жидкостное химическое травление
Просмотров:
75
Раздел:
Химия
Ссылка:
none(0 KB)
Описание:
Для компенсации подтрава при изотропном жидкостном травлении размеры элемента на фотошаблоне следует уменьшать. На рис. 3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления. Д