Введение
Защита окружающей среды
является важнейшей социально-экономической задачей.
В условиях промышленно
развитого общества при все возрастающем уровне развития сельского хозяйства,
средств транспор
РЕФЕРАТ
по ФХОТЭС
«Физико-химические
основы термовакуумного испарения и осаждения материалов»
СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1.
Нанесение пленок
в вакууме
2.
Метод
терм
Федеральное агентство
по образованию РФ
Санкт-Петербургский
Государственный Электротехнический Университет «ЛЭТИ»
Кафедра микроэлектроники
Отчет по
лабораторной работе №3
Исследован
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ
Государственное образовательное
учреждение высшего профессионального образования
«ЧИТИНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ
УНИВЕРСИТЕТ»
Институт технологических и
транспортных си