| Название: | Жидкостное химическое травление |
| Просмотров: | 91 |
| Раздел: | Химия |
| Ссылка: | Скачать(170 KB) |
| Описание: | Для компенсации подтрава при изотропном жидкостном травлении размеры элемента на фотошаблоне следует уменьшать. На рис. 3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления. Д |
|
