Ионно-сорбционная откачка . При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов . Высокоэнергетические ионы или нейтральные частицы , бомбардируя твердое тело , проникают в него на глубину , достаточную для их растворения .Этот способ удаления газа является разновидностью ионной откачки . На рис. 1 показано равновесное распределение концентрации при ионной откачке в объеме неограниченной пластины толщиной , рассоложенной внутри вакуумной камеры . Максимальную удельную геометрическую быстроту ионной откачки можно рассчитать по формуле (1) , где - коэффициент внедрения ионов ; = - удельная частота бомбардировки ; - плотность ионного тока ; - элементарный электрический заряд ; - молекулярная концентрация газа . Коэффициент внедрения учитывает частичное отражение и рассеивание , возникающее при ионной бомбардировке . Коэффициент внедрения сильно зависит от температуры тела и слабо - от плотности тока и ускоряющего напряжения . Значение наблюдается для Ti , Zn при 300 ... 500 К . Максимальное значение концентрации растворенного газа при ионной откачке можно определить из условия равновесия газовых потоков : (2) ( D - коэффициент диффузии газа в твердом теле ) . Градиенты концентраций определяются следующими отношениями : здесь - глубина внедрения ионов ( - ускоряющее напряжение ) ; и - максимальная и начальная концентрация плотности поглощенного газа . Так как величина мала по сравнению с ( константа даже для легких газов не превышает 1.0 нм./кВ ) , то величиной в уравнение (2) можно пренебречь : . Отсюда следует выражение для максимальной концентрации растворенного газа : . Если величина , рассчитанная по приведенной формуле превышает максимально возможную в данных условиях растворимость газа в металле , то поглощенный газ начинает объединяться в газовые пузырьки , вызывая разрыв металла . Это явление получило название блистер-эффекта . В нержавеющей стали водородный блистер-эффект наблюдается при поглощение м3*Па/см2 , что соответствует при быстроте откачки м3/(с*см2) и давление Па приблизительно 300 часов непрерывной работы . По известному значению можно подсчитать общее количество газа , которое будет поглощено единицей поверхности . Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала , сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и корпус насоса . Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной откачки . Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , например с помощью регулирования температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа . Более экономно расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка . Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами . Оглавление ИОННО-СОРБЦИОННАЯ ОТКАЧКА . 1 РИС1. ............